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計畫緣起. 近年來氣浮原理所運用之精密傳動機構或量測儀器研. 究產品如雨後春筍般，但大部份的氣浮元件都還是使用金. 屬比較多，目前的精密花崗岩氣浮系統則尚 ...
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關鍵字：精密花崗岩構件、XY運動載台、氣浮軸承. 1. 前言 ... 適當的載台構件素材與導入氣浮軸承技術，係精 ..... 軌，並維持氣浮滑台運動的直線度與側向剛. 性。 5.
2014年1月13日 - 目前大部份三次元機台結構都使用精密花崗石做為平台，較好的機台會使用00級以上的花崗 ... 運動方式一般區分為滾珠線性滑軌及氣浮滑軌兩種。
