AST聚昌科技MP 370 系列高密度電漿蝕刻系統,乃是特別針對藍寶石圖案襯底( PSS )、 藍光LED ( Mesa / Isolation )，提供高效能、高可靠度蝕刻製程全方位解決方案，將可支援各種介電質蝕刻、金屬蝕刻及III V 族等化合物半導體蝕刻等應用。此系統不但可滿足LED領域更高性能的蝕刻工藝的各項製程要求，還可適用不同客戶及規格 ...
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