相較於傳統陶瓷 (衛浴設備、瓷磚等)，精密陶瓷具有相當高的化學純度、密度、硬度、強度、韌性、耐腐蝕、耐酸鹼、與絕緣性。目前已經廣泛應用於: 半導體製程設備中的機械手臂、Chamber 內襯、上蓋、與瓷環等。
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