故用作校正的標準真空計(standard vacuum gauge). (B)相對真空計. (B)相對真空計 . (relative vacuum gauge)為間接利用氣體壓力與一些. 量的關係,測定該量而導出 壓力. 多用在壓力太低無法直接測定壓力的真空範圍. 如熱傅導,氣體分子離子化等 技術而間接測定壓力者. 此種間接測定的量通常與氣體分子的種類有關.
熱絲極離子真空計的種類 編輯] 巴雅-愛泊特量測計(使用密封的管子 [1] ) Nude gauge(使用真空腔以達到完整的密封) 請參見 [編輯] 離子化真空計 真空 電子游離 參考資料 ...
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電容真空計,由於壓力不同,會引起電容兩極距離的變化,這會使電容的大小發生 變化。這樣通過測量這種電容大小的變化,就能得知當前的真空度。如Pfeiffer 的 CMR ...
壓縮式真空計 又稱麥克勞真空計,是一種測量低真空和高真空的絕對真空計。這種真空計一般用硬質玻璃製成(圖2a)。A是一根與被測真空系統相連接的開管,D、B為內徑相同的毛細管,V為球泡,其體積遠大於毛細管。
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熱絲極離子真空計(英文:Hot filament ionization gauge),有時又稱熱絲極真空計或熱陰極真空 ... 在電子從絲極往柵極的過程中,電子會撞擊真空計內的氣體分子,導致部分的氣體分子被離子化。這些氣體離子會被位在真空計中加負電壓(通常為-30V) ...