有機金屬化學气相沉積法(MOCVD, Metal-organic Chemical Vapor Deposition),是在基板上成長半導體薄膜的一種方法。 其他類似的名稱如:MOVPE (Metal-organic Vapor-Phase Epitaxy)、OMVPE (Organometallic Vapor-Phase Epitaxy)及OMCVD (Organometallic Chemical Vapor Deposition)等等,其中的前兩個字母"MO" 或 ...
有機金屬氣象沉積(MOCVD). 原理:. 利用在反應爐中通入欲化合元素與有. 機根所形成的氣體,使其在基板產生. 化學反應並形成想得到的材料薄膜。 說明:. 1. 常用來提供第三族元素(鋁、鎵和銦) 來源. 的有機化合物. 有機化合物為:. (1) 三甲基鋁(Trimethyl-Aluminum ,簡稱. TMAl或TMA). (2) 三甲基鎵(Ttrimethyl-Gallium ,簡稱.
其中的前兩個字母 "MO" 或是 "OM" ,指的是半導體薄膜成長過程中所採用的反應源 (precusor) 為金屬化合物 ... 反應源可以分成兩種,第一種是有機金屬反應源,第二種是氫化物氣體反應源。有機金屬反應源儲藏在一個具有兩個聯外管路的密封不鏽鋼 ...
LED的製程 - 晶粒製程 - 封裝製程 LED用高分子封裝材料 - 透明矽膠材 - 最新的反射杯材料 何謂LED及其原理 ... • D型 (Type D) => 橡膠 鞋跟的硬度 –適用於透鏡及高硬度封裝 硬度轉換表 SHORE DUROMETER CONVERSION CHART ...
... 最關鍵的MOCVD制程,其主要包含三甲基鎵(TMGa)、三甲基銦(TMIn)、三乙基鎵(TEGa)、三甲基鋁(TMA)、環戊二烯(Cyclopentadienyl)及二茂鎂(Cp2Mg)等元素。
中文同义词: 二茂镁;二環戊二烯鎂;双(环戊二烯)镁;双(环戊二基)镁;二戊镁(CP2MG);双(环戊二烯)镁(II);双(环戊二烯)镁, 升华;双(环戊二烯)镁,SUBLIMED;双(环戊二烯) ...
中文同义词: 双(环戊二烯)镁;二環戊二烯鎂;双(环戊二烯)镁,SUBLIMED;双(环戊二烯)镁 ... 双(环戊二基)镁;双(环戊二烯)镁, 升华;双(环戊二烯)镁(II);二戊镁(CP2MG).
中文名: 二茂镁; 英文名: magnesocene;Bis-cyclopentadienyl magnesium (Cp2Mg). 别 称: 双(异戊二烯基)镁; 化学式: Mg(C5H5)2. 分子式:Mg(C5H5)2. 又称双(异戊 ...
中文摘要:利用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上生长p型GaN:Mg薄膜,对不同二茂镁(CP2Mg)流量和Ⅴ族和Ⅲ族摩尔(Ⅴ/Ⅲ)比生长的p ...
当Ⅴ/Ⅲ比为3 800时,Cp2Mg流量最高为170sccm,获得p型GaN(002)面峰值半高宽(FWHM) ... 中文关键词: 金属有机物气相淀积(MOCVD) p型氮化镓(CaN) X射线双晶 ...